MCRI FH系列原子层沉积系统

原子层沉积（ALD）是一种前沿的纳米结构制造与表面工程技术。该技术通过交替发生的表面饱和化学反应实现原子级精度的可控薄膜生长，具有沉积温度低、保形性好、原子级厚度控制能力、工艺可靠性和重复性好等特点。目前已被开发的ALD过程可用于合成超过150种单质和化合物，包括金属氧化物、氮化物、硫化物、磷化物、碳化物，部分金属及非金属单质，以及部分无机-有机混合高分子和有机高分子薄膜。ALD适用于对各种材料表面进行精确修饰改性以及多种纳米结构的可控合成，可广泛用于半导体与集成电路、平板显示、太阳能电池、纳米材料、催化剂、防腐蚀保护层、薄膜分离、清洁与可再生能源、生物与医疗、特种材料表面改性、空间器件表面防辐射等领域。

MCRI FH系列原子沉积系统介绍

主要特色：

MCRI FH系列原子层沉积系统由西安近代化学研究所海外引进人才冯昊研究员团队研制。冯昊研究员长期从事原子层沉积技术基础、设备开发及应用研究，在针对粉体材料的原子层沉积技术领域颇有建树。FH系列原子层沉积设备定位为多功能科研型ALD设备，主要用于各类粉体材料样品的制备，也可兼容常规的平面基底表面ALD薄膜沉积功能，并特别适用于高长径比管件的内壁或外壁表面ALD薄膜沉积。FH系列原子层沉积设备采用模块化设计，性能先进，技术成熟，使用、维护简便，功能可扩展性强（支持升级改造，兼容QCM、MS等在线表征仪器），可以根据用户需求进行非标设备开发。该设备可制备的材料包括氧化铝、氧化镁、氧化钛、氧化锌、氧化硅、氧化铁、氧化钴、氧化铜、氧化钒、氧化铈等数十种氧化物，铂、钯、铱、钌等贵金属单质，以及聚酰亚胺、聚脲等聚合物材料。

技术优势：

西安近代化学研究所冯昊研究员团队长期（10年以上）专业从事各类微纳粉体材料（如含能材料、催化剂、电极材料等）以及多种功能器件的ALD表面修饰改性技术研究。近年来，在相关技术领域发表高水平SCI科研论文20余篇，申请专利十数项。团队目前已开发出数套拥有自主知识产权的多功能科研型和应用型ALD装置，其中科研型ALD设备已实现商业化应用，目前已经向国内部分高校和科研院所提供了相关的ALD技术和设备产品；团队的“多功能模块化原子层沉积系统”项目获得2019年中国创新创业大赛技术融合专业赛二等奖。团队具备ALD设备研发、ALD机理剖析、ALD过程开发、ALD样品制备、ALD设备操作、维护，ALD技术培训等科研业务能力，并在ALD纳米材料制备与ALD表面工程领域积累了丰富的经验，是国内为数不多的具备“产—学—研”全创新链条的ALD创新科研团队，团队于2018年入选首批国防科工局科技基础创新团队。

3. 业务范围：

（1）销售FH系列原子层沉积系统；

（2）可根据用户需求，定制非标原子层沉积设备；

（3）承接各类ALD过程开发和ALD样品制备等技术服务；